Состав оборудования
1. Печь химического осаждения из газовой фазы состоит из вакуумной топочной камеры из нержавеющей стали, системы турбомолекулярных насосов, источника питания, носителя реакции, системы температурного контроля и вспомогательного устройства водяного охлаждения, а также независимой системы управления выкачиванием и давлением реакции.
2. Оборудование компактно и имеет оптимизированную конструкцию, что обеспечивает простоту эксплуатации и быструю вакуумную откачку.
3. Доступно ручное управление и автоматическое управление – промышленный персональный компьютер.
4. Вакуумная откачка и нанесение покрытия могут быть завершены в одном производственном цикле.